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[OXFORD PLASMA TECHNOLOGY 옥스포드 플라즈마 테크놀로지_PC91S21083] 반도체 진공장비에 쓰이는 드라이브 수리문의!

산업용 전자장비 수리 플랫폼 2018. 1. 19. 13:52



안녕하세요! 예리엘입니다^0^

드라이브 수리문의가 들어왔어요!

간단히 어떤제품이고 어떤 증상으로 문의들어왔는지 내용 확인해보시죠!


 제조사

 oxford plasma technology

 모델명

 PC91S21083

 고장증상

 반도체 진공장비에 쓰이는 기판

 프로세서 챔버와 로드락 챔버를 분리시켜주는 슬립밸브의 고장

(열리긴 하나 닫히지 않음)












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